本书系统介绍了真空测量与控制的原理、技术和方法，内容涉及真空测量技术、各种真空传感器和仪器电路、真空校准和真空检漏的原理和方法、真空设备和真空系统的自动控制等。本书在编写过程中注意知识体系的完整性，力求反映新技术、新成果，努力做到知识性和实用性的统一。编写本书的主要目的在于让读者掌握真空状态下全压力和分压力测量的方法及所用仪器的结构和工作原理，了解真空计校准的一些常识，熟悉常用的真空检漏方法和检漏仪器，具备真空仪器电路、控制系统的初步分析和设计能力。

本书系统地介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法，介绍的主要内容有真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其他检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。

本书可作为高等学校真空技术及设备、材料科学与工程、物理学等相关专业本科生和研究生的教材，还可供从事真空获得、真空测量和真空应用的工程技术人员参考。

0 绪论

0．1 真空测量

0．2 真空计校准

0．3 真空检漏

0．4 真空测量仪器电路及其发展

0．5 真空设备控制技术

1 真空测量概述

1．1 真空度的表征、单位和真空区域划分

1．2 真空计分类

1．3 真空计测量范围

1．4 真空测量的特点和真空计选择原则

2 液位式真空计

2．1 U型管真空计

2．2 压缩式真空计

3 弹性变形真空计和粘滞性真空计

3．1 弹性元件真空表

3．2 电容式薄膜真空计

3．3 振膜真空计

3．4 磁悬浮转子真空计

4 热传导真空计

4．1 热传导真空计的工作原理

4．2 热传导真空计的测量范围

4．3 电阻真空计

4．4 热偶真空计

4．5 已知混合气体成分真空度的测量

4．6 热传导真空计的优缺点

5 电离真空计

5．1 热阴极电离真空计的工作原理

5．2 普通型热阴极电离真空计

5．3 热阴极电离真空计的测量电路

5．4 高压力热阴极电离真空计

5．5 超高真空热阴极电离真空计

5．6 冷阴极电离真空计

5．7 放射性电离真空计

6 分压力测量和残余气体分析

6．1 概述

6．2 四极质谱计

6．3 其他质谱计

6．4 识谱技术

7 真空计校准

7．1 概述

7．2 静态膨胀法

7．3 动态流导法

7．4 标准压缩式真空计

7．5 副标准真空计

8 真空测量技术

8．1 气体种类对真空测量的影响

8．2 测量系统对被测系统的影响

8．3 真空规管安装对测量的影响

8．4 特殊条件下的真空测量

9 真空检漏概述

9．1 漏气判断和漏孔表示法

9．2 最大允许漏率的估算

9．3 检漏方法分类

9．4 对检漏方法的要求与选择

10 各种检漏方法

10．1 静态升压法

10．2 气泡检漏法

10．3 氨气检漏法

10．4 真空计检漏法

10．5 离子泵检漏法

10．6 氢一钯检漏法

10．7 荧光检漏法

10．8 放射性同位素检漏法

10．9 慢性漏气的加速检测法

11 真空检漏仪器

11．1 高频火花检漏仪

11．2 卤素检漏仪

11．3 气敏半导体检漏仪

11．4 氦质谱检漏仪

11．5 漏率测量的误差

11．6 真空检漏工作的注意事项

12 标准漏孔

12．1 标准漏孔及其常用的结构形式

12．2 标准漏孔的校准

12．3 标准漏孔使用中应注意的问题

13 真空测量仪器电路

13．1 WZK—1A复合真空计

13．2 DC-3型超高真空计

13．3 ZDZ-2D数字电阻真空计

13．4 数字化热偶真空计

13．5 ZDR-10型微机化电离真空计

13．6 DNB束功率测量系统设计

14 真空设备与系统的自动控制

14．1 真空系统电气控制概述

14．2 真空获得设备控制电路

14．3 真空镀膜机继电器控制电路

14．4 真空热处理炉真空测量与控制电路

14．5 真空冷冻干燥机电加热系统控制

14．6 真空钎焊炉温度测控电路

14．7 镀膜生产线程序控制系统

14．8 真空压力浸漆设备PLC控制系统

14．9 同步辐射光源真空控制系统

14．10 真空冶金设备抽气装置专家系统

参考文献