本书描述了传感器微电子机械系统的全貌，对传感器技术进行了全面的介绍，涵盖了传感器原理、材料、微加工技术、微传感器、微执行器、微系统集成及其重要的应用等内容。本书既注重传感器的基本概念、原理和效应以及典型器件的阐述，又引入了传感器新发展的内容，特别是引入了传感器微系统、智能传感器和网络传感器的新发展，以加深读者对传感器技术的理解，并为读者开拓了此领域的新视野。它不仅是相关专业的研究生和本科生的良好的教材，也是从事传感器研究、开发和应用的科技人员的高质量的参考书。

本书既注重传感器的基本原理和效应，又兼顾传感器的新发展，阐述了和传感器密切相关的传感器的主要支撑技术，如微纳技术、微细加工和传感器功能材料的一些基本概念和内容。主要内容包括：传感器特性与评价，传感器功能材料，微细加工技术，传感器的基本物理原理、效应和器件，物理传感器及主要物理量检测，化学传感器，生物传感器，传感器的集成化、智能化和网络化，传感器的系统集成，微机电系统发展的动向。

本书可供电子信息、仪器仪表、生物医学工程、测控技术、机电一体化、计算机应用等专业的本科生、研究生作为教材，也可供从事传感器研究、开发和应用的工程技术人员参考。

前言

第1章 绪论

 1．1 传感器和现代科技

 1．2 传感器的定义和分类

 1．3 传感器的构成

 1．4 传感器技术的发展趋势和方向

第2章 传感器特性与评价

第3章 传感器功能材料

第4章 微细加工技术

第5章 传感器的基本物理原理、效应和器件

第6章 物理传感器及主要物理量检测

第7章 化学传感器

第8章 生物传感器

第9章 传感器的集成化、智能化和网络化

第10章 传感器的系统集成

第11章 微机电系统发展的动向

参考文献