为了使相关读者更深入了解掌握微电子工艺技术的原理,本书前部分主要介绍了集成电路制备工艺中有关的物理、化学知识,第4章至第10章是全书重点,介绍了工艺过程、工艺设备以及IC制备中的新技术、新方法。全书共分10章,主要内容涉及半导体硅材料及化合物的化学性质,高纯水的制备,清洗技术,氧化、扩散、刻蚀、制版、外延、金属化处理、电子封装等主要工艺的原理等。
本书可作为高等院校相关专业的教材,也可作为教师和研究生的参考用书,同时也能供广大从事微电子相关领域的工程技术人员参考。
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