这本书是全国真空行业的科技工作者、教育工作者、工人和服务人员多年来辛勤劳动的结晶。它是一本综合性的专著，没有真空设计手册中所载的产品、厂家和标准；不像教材那样具有详细的理论和公式推导，它的编写特点是重视工程实际应用。各种真空元件和设备的选型方法，使用与维护的注意事项，在其他类属真空书籍中很难找到这些内容。因此，写本书的目的是推动真空事业的发展，加快真空工程产品的更新换代，工艺革新，设计计算方法的现代化。读者对象除相关专业的本科生、硕士生之外，重点是设计、制造真空工程设备的工厂，研究真空材料科学与技术的科研院所和应用真空工程技术与设备的科技人员；帮助具有大专以上学历，各专业毕业的工程技术人员，自学真空科学技术，达到可以设计，会选型，能应用的水平。
全书共分5篇含32章。其中第1篇包括3章，主要内容是真空工程技术的理论基础；第2篇包括8章，主要内容是真空工程中常用到的基础元件；第3篇包括4章，主要内容是真空系统设计；第4篇包括14章，主要内容是真空工程技术的主要应用；第5篇包括3章主要内容是真空工程材料与工艺。