本书意在向广大读者介绍微光机电系统的工艺、器件及其封装过程，共分五章，前三章主要使读者对MOEMS的概况以及设计制造，特别是对国内现有的条件有一个基本了解；第4章、第5章着重介绍典型的微器件和微系统。可作为工程设计人员及MOEMS专业方向研究生的参考书。

  本书介绍了微光机电系统(Micro-Optical—Electro—Mechanical System，MOEMS)的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等人手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑选用。

本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员、科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。

丛书序

前言

第1章 微光机电系统概述

1.1微光机电系统的定义与历史

1.1.1 MOEMS的定义

1.1.2 MOEMS发展历史

1.2 MOEMS的应用和市场前景

1.2.1 MOEMS器件的特点

1.2.2形成产业的几个MOEMS实例

1.2.3 MOEMS器件的市场情况

1.2.4现阶段MOEMS研究的主要问题

1.3与MOEMS相关的资讯

1.在线资源

2.与MOEMS相关的会议

3.参考书与论文收集

4.杂志

参考文献

第2章 MOEMS的设计与仿真

2.1微型化带来的“特殊”理论问题

1.几何结构学中的尺寸效应

2.部分力的尺寸效应

3.流体力学中的尺寸效应

4.热传递中的尺寸效应

2.2 MOEMS的设计过程

2.2.1微系统设计流程

2.2.2微系统设计实例

1.类型选择和指标确定

2.压阻式微加速度计的结构设计及工作原理

3.工艺流程

4.加速度计主要性能指标测量方法

2.3 MOEMs的仿真及其软件

 2.3.1器件设计模拟的具体方法

1.工艺设计

2.掩膜版图设计

3.结构仿真器

4.材料特性数据库

5.器件的模拟和优化

 2.3.2 MOEMS CAI)软件

 1.ARCHITECTTM

 2.DESIGNERTM

 3.ANALYZERTM

 4.INTEGRATORTM

参考文献

第3章 典型的微结构制造工艺

3.1微电子工艺概述

 3.1.1光刻

 3.1.2刻蚀

1.湿法刻蚀

2.干法刻蚀

 3.1.3薄膜淀积

1.氧化

2.化学气相淀积

3.蒸发

4.溅射

3.2表面工艺

 3.2.1表面工艺的工艺流程

 3.2.2表面工艺中的关键工艺

1.制膜工艺

2.牺牲层工艺

 3.2.3标准工艺

3.3体硅工艺

 3.3.1体硅工艺的工艺流程

 3.3.2体硅工艺中的关键工艺

1.各向同性和各向异性湿法刻蚀

2.湿法腐蚀

3.干法腐蚀

4.感应耦合(IcP)离子刻蚀

 3.3.3标准工艺

3.4 UGA工艺

 3.4.1 UGA工艺流程

1.标准工艺

2.准UGA工艺

 3.4.2 uGA工艺中的关键

工艺

3.5微制造工艺小结

参考文献

第4章 MOEMS器件

4.1 MOEMs器件的敏感原理和执行方式

 4.1.1微传感器件通常采用的敏感原理

1.压阻敏感原理

2.电容敏感原理

3.隧道电流敏感原理

 4.1.2微执行器件通常采用的执行方式

1.静电执行方式

2.压电执行方式

3.热执行方式

4.电磁执行方式

4.2微力学器件

 4.2.1微力学传感器

1.微压力传感器

2.微加速度计

3.微陀螺仪

4.微传声器

5.微位移传感器

 4.2.2力学执行器

1.微马达

2.微开关

3.微夹钳

4.3 RF微器件

 4.3.1基本器件

 1.RF微开关

 2.微电容

 3.微电感

 4.微天线

 4.3.2组件

1.移相器

2.滤波器

3.谐振器

4.4微光学器件

4.4.1典型光学微传感器与微执行器

 1.红外探测器

 2.数字微镜器件与数字光路处理器

 3.栅状光阀成像系统

4.4.2微光通信器件

 1.微光开关

 2.光交叉连接器

 3.可调光衰减器

 4.微机械光纤耦合器

4.5微流体器件

4.5.1微流体传感器

 1.微流量传感器

 2.粘度／密度传感器

4.5.2微流体执行器

 1.微流体通道

 2.微阀

 3.微泵

 4.微混合器

 5.微喷“

4.6其他微传感器

 4.6.1微磁场传感器

1.光纤弱磁场传感器

2.微型磁场传感器

3.微磁性组件--

 4.6.2微温度传感器

参考文献

第5章 微系统集成

5.1微封装技术

5.1.1微电子封装

5.1.2微系统封装

1.分类

2.基本技术及工艺

5.2微系统集成应用实例

 5.2.1微推进系统

1.工作原理

2.国内外现状

3.结构

 5.2.2微惯性组合

1.工作原理

2.国内外现状

3.结构

 5.2.3微型分布式信息获取单元

1.工作原理

2.国内外现状

3.结构

参考文献