本书介绍了微纳米制造领域涉及的各类加工技术及其应用特点。全书共7章：第1章介绍了微纳制造技术的应用和分类；第2章介绍了微细机械加工和基于高能束的微细加工技术；第3章阐述了各类表面成膜与改性技术；第4章介绍了光刻、刻蚀、键合封装等半导体加工工艺；第5章介绍了微纳压印加工的各种方法；第6章阐述了各种纳米结构自组装成形技术；第7章介绍了生物去除加工、生物约束成形、生物复制成形等新型微纳加工方法。
本书具有很强的针对性、实用性和指导性，可以作为机械工程、微系统工程、微电子等领域工程技术人员的参考资料，也可以作为高等院校机械工程、仪器科学与工程、材料科学、化学等专业本科生及研究生的教材或参考书。

《21世纪优选制造技术丛书》序
前言
第1章绪论1
1.1微纳制造技术的应用2
1.1.1日常生活中的微纳制造技术2
1.1.2医疗器械中的微纳制造技术3
1.1.3国防产品中的微纳制造技术4
1.2微纳制造技术的发展趋势4
1.3微纳制造技术的领域划分6
1.4本书的主要内容及写作意图9
参考文献9
第2章微细机械加工技术11
2.1微细切削加工技术11
2.1.1微细切削机理11
2.1.2金刚石刀具18
2.1.3微细超声椭圆振动车削加工21
2.1.4微细铣削加工29
2.1.5微细车铣复合加工33
2.1.6微细钻、攻加工35
2.1.7微细磨、研、喷加工39
……