为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关法律、法规和规定，规范工程的设计内容和深度，提高工程的设计水平，达到保护环境、节约能源与资源、技术优选、经济合理、保证设计质量和安全的要求，制定本标准。《电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019》适用于新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。电子工业废气处理工程设计除应符合本标准外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

1总则
2术语
3基本规定
4工艺及工艺设备
4.1一般规定
4.2污染物控制
4.3应急设施
5碱性废气系统
5.1一般规定
5.2处理流程和方法
5.3处理设备
5.4风管及附件
6酸性废气系统
6.1一般规定
6.2氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
7挥发性有机物废气系统
7.1一般规定
7.2废气收集、排风管道系统
7.3处理系统
7.4处理设备
7.5自动控制及安全措施
8特种废气系统
8.1一般规定
8.2烷类尾气处理系统
8.3全氟化合物（PFC）尾气处理系统
8.4其他特种尾气处理系统
8.5中央废气处理系统
9除尘系统
9.1一般规定
9.2系统设计、处理流程及方法
9.3处理设备
9.4风管及附件
10电子玻璃窑炉废气系统
10.1一般规定
10.2系统设计、处理流程及方法
10.3处理设备
10.4风管及附件
11事故通风
11.1一般规定
11.2系统设计及有害气体净化
12电气设计
12.1供配电与照明
12.2防雷与接地
附录A电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康
浓度（IDIH）
本标准用词说明
引用标准名录
附：条文说明