氮化镓微波功率器件出现至今,无论是其关键技术还是工程应用均取得了快速发展,目前已在新一代移动通信、新型雷达等领域获得了广泛应用。为了推动氮化镓知识的普及,促进读者对氮化镓技术的了解,作者结合研究团队多年的研究及技术实践编撰了此书。本书共6章,包括绪论、氮化物材料MOCVD生长技术、氮化镓微波功率器件技术、微波功率器件新型工艺、微波功率器件建模、新型氮化镓微波功率器件。
本书可作为微电子器件领域学生的专业教材,也可作为相关领域研究生及从业人员的参考资料。
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