本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构，阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用。本书主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。
本书可供高等院校传感器技术、微机电系统、测控技术与仪器、自动化工程、机电一体化及仪器仪表等专业的师生作为教材使用，也可供从事传感器、MEMS、仪器仪表等相关专业的技术人员学习参考。

第1章 传感器的基本概念
1.1 传感器的定义
1.2 传感器的组成
1.3 传感器的分类
1.4 传感器的地位与作用
1.5 传感器的发展动向
第2章 传感器的特性
2.1 传感器的静态特性
2.1.1 测量范围、量程和满量程输出
2.1.2 分辨力、阈值和灵敏度
2.1.3 迟滞
2.1.4 重复性
2.1.5 线性度
2.1.6 零漂与温漂
2.1.7 总精度
2.2 传感器的动态特性
2.2.1 传感器动态响应的基本特点
2.2.2 传递函数与频响特性
2.2.3 一阶系统的动态响应
2.2.4 二阶系统的动态响应
2.2.5 高阶系统的动态响应
2.2.6 传感器动态响应的指标
2.2.7 实验确定传递函数的方法
第3章 MEMS压阻式传感器
3.1 概述
3.2 压阻效应
3.2.1 压阻效应的定义与特点
3.2.2 晶面与晶向
3.2.3 压阻系数
3.3 压阻式压力传感器
3.3.1 平膜结构的力敏电阻电桥设计
3.3.2 梁-岛膜结构的力敏电阻电桥设计
3.4 MEMS压阻式微加速度计
3.4.1 硅微加速度计概述
3.4.2 MEMS压阻式加速度计测量原理
3.4.3 复合多梁MEMS压阻式加速度计
3.4.4 孔缝结构MEMS压阻式加速度计
3.4.5 高g值MEMS加速度计
参考文献
第4章 高温压力传感器
4.1 耐高温压力传感器的应用需求和主要技术方法
4.1.1 耐高温压力传感器的应用需求
4.1.2 耐高温压力传感器主要技术方法
4.2 SOI高温压力传感器
4.2.1 SOI压阻传感器的耐高温工作原理
4.2.2 合理掺杂浓度的设计
4.2.3 SOI耐高温敏感元件的制作工艺
4.3 耐高温压力传感器的典型封装形式
4.3.1 绝压与表压的芯片级封装
4.3.2 齐平膜高频响结构——倒杯式和C型杯式
4.3.3 高可靠性充油封装
4.3.4 微型化无引线封装
4.4 SiC耐高温压力传感器敏感元件研制
4.4.1 SiC材料特性
4.4.24 H-SiC高温压力传感器芯片设计
4.4.34 H-SiC高温压力传感器芯片制备
参考文献
第5章 MEMS振梁式谐振传感器
5.1 谐振式传感器概述
5.1.1 概述
5.1.2 谐振现象与传感器
5.1.3 特征和优势
5.2 谐振式传感器的敏感机理及信号检测方式
5.2.1 谐振敏感元件
5.2.2 敏感机理
5.2.3 信号检测方式
5.3 典型的振梁式谐振加速度传感器结构及其工作原理
5.3.1 硅振梁式谐振加速度传感器
5.3.2 石英振梁式谐振加速度传感器
5.4 典型的振梁式谐振压力传感器结构及其工作原理
5.4.1 硅振梁式谐振压力传感器
5.4.2 石英振梁式谐振压力传感器
参考文献
第6章 MEMS陀螺技术
6.1 微机械陀螺的原理、分类与性能
6.1.1 科里奥利效应
6.1.2 微机械陀螺的分类
6.1.3 微机械陀螺的性能指标
6.2 振梁式硅MEMS陀螺分析
6.2.1 音叉式硅微机械陀螺
6.2.2 振动轮式硅微机械陀螺
6.3 石英音叉微机械陀螺
6.3.1 石英音叉陀螺的工作原理
6.3.2 驱动与检测原理
6.3.3 驱动稳幅稳频振动控制技术
6.3.4 角速度（电荷）检测技术
6.3.5 几种典型的石英音叉陀螺
参考文献
第7章 智能加工切削力传感器
7.1 切削力概述
7.1.1 切削力的来源
7.1.2 切削力测量的重要性
7.2 切削力传感器的研究与发展
7.2.1 切削力传感器研究早期探索阶段
7.2.2 切削力传感器快速发展阶段
7.2.3 切削力传感器商业化阶段
7.2.4 智能刀具切削力传感器
7.3 集成化三维车削力传感器设计制造与测试
7.3.1 传感器设计原理与方法
7.3.2 传感器制造与封装技术
7.3.3 传感器性能测试与分析
参考文献
第8章 基于非晶碳薄膜压阻效应的新型压力传感器
8.1 非晶碳膜压阻材料基础
8.1.1 非晶碳膜材料表征
8.1.2 非晶碳膜制备工艺研究
8.1.3 非晶碳膜性能研究
8.2 非晶碳膜的MEMS压阻式微压力传感器设计及加工
8.2.1 非晶碳膜微压力传感器设计
8.2.2 传感器芯片的封装方案设计
8.3 基于非晶碳膜的MEMS压阻式微压力传感器性能测试
8.3.1 静态性能测试
8.3.2 时间/温度漂移测试
参考文献
第9章 MEMS微爆轰测试传感器
9.1 爆压测试方法
9.1.1 动量守恒法
9.1.2 阻抗匹配法
9.2 MEMS微爆轰压力传感器
9.2.1 爆压测试方法分析
9.2.2 MEMS微爆轰压力传感器设计
9.2.3 传感器动态标定
9.2.4 微爆轰实验测试
9.3 爆速测试方法
9.3.1 离散法
9.3.2 连续法
9.4 MEMS微爆轰速度传感器
9.4.1 爆速测试方法分析
9.4.2 MEMS微爆轰速度传感器设计
9.4.3 MEMS微爆轰速度传感器实验测试
9.4.4 爆速测试数据处理
参考文献
第10章 大输出位移电热微